罗茨泵-杭州首泉真空设备有限公司

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WAU罗茨泵 WAU罗茨泵技术优势‌ ‌高效节能‌ 风冷设计无需外接冷却水，能耗比传统水冷泵低40% 变频调速兼容性（如WAU 251提速至4200rpm），工况适配性提升50% ‌无油密封‌ 罐装电机（Canned Motor）隔绝润滑油污染，满足半导体、光伏镀膜等高纯度工艺要求氟橡胶密封件耐受含氧/腐蚀性气体（如CVD工艺中的蚀刻气体） ‌模块化维护‌ 齿轮箱与泵腔隔离设计，润滑油不受介质污染，更换周期

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更新日期
2025-08-18

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厂商性质
生产厂家

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186
WHU罗茨泵 WHU罗茨泵技术优势‌ ‌无油密封设计‌ 全密封电机+氟橡胶密封件，隔绝润滑油污染，适配半导体、光伏镀膜等高纯度工艺 ‌高效旁通系统‌ 新型控制阀缩短抽空时间，支持大气压启动，响应速度优于变频调速 ‌水冷协同控温‌ 电机与油池双水冷设计，油温降低50%，轴承寿命延长，散热减少（适合无尘车间） ‌变频兼容性‌ 选配变频器可提升抽速140%（如WHU 251达4200rpm），能耗优化30%

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2025-08-18

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WSU罗茨泵 WSU罗茨泵应用场景与维护要点‌ ‌典型应用领域‌ ‌工业真空‌：光伏镀膜、半导体工艺、冶金热处理 ‌科研装置‌：空间模拟舱、粒子加速器配套 ‌特殊介质‌：含氧气体、放射性物质（需PFPE润滑油）

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2025-08-18

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