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WAU罗茨泵
描述：

WAU罗茨泵技术优势‌
‌高效节能‌
风冷设计无需外接冷却水，能耗比传统水冷泵低40%
变频调速兼容性（如WAU 251提速至4200rpm），工况适配性提升50%
‌无油密封‌
罐装电机（Canned Motor）隔绝润滑油污染，满足半导体、光伏镀膜等高纯度工艺要求
氟橡胶密封件耐受含氧/腐蚀性气体（如CVD工艺中的蚀刻气体）
‌模块化维护‌
齿轮箱与泵腔隔离设计，润滑油不受介质污染，更换周期

  • 产品型号：
  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新时间：2025-08-18
  • 访问量：185
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产品详情/ PRODUCT DETAIL

标题：WAU罗茨泵

产品概述

WAU罗茨泵核心型号与技术参数‌

‌型号‌‌抽速(m³/h)‌‌极限压力(mbar)‌‌功率(kW)‌‌结构特性‌‌适配前级泵‌
‌WAU 1001‌10004×10⁻²4.0卧式/立式可选，轴封箱油量1.3LSV系列油封泵8
‌WAU 2001‌20504×10⁻²7.5带旁通阀，DN160法兰，噪音≤80dBD65B油封泵59
‌WAU 251‌253<8×10⁻²1.1变频兼容(20-100Hz)，氟橡胶密封中小型旋片泵7
‌WAU 501‌5054×10⁻²2.2三叶转子降噪(67dB)，重量仅136kgSOGEVAC系列6
关键设计‌：全系列标配‌旁通阀系统‌，支持大气压启动，抽空时间缩短30%

WAU罗茨泵的技术优势‌

1、高效节能‌

风冷设计无需外接冷却水，能耗比传统水冷泵低40%

变频调速兼容性（如WAU 251提速至4200rpm），工况适配性提升50%

2、无油密封‌

罐装电机（Canned Motor）隔绝润滑油污染，满足半导体、光伏镀膜等高纯度工艺要求

氟橡胶密封件耐受含氧/腐蚀性气体（如CVD工艺中的蚀刻气体）

3、模块化维护‌

齿轮箱与泵腔隔离设计，润滑油不受介质污染，更换周期延长至4000小时

立式/卧式快速切换，节省设备布局空间


维护与故障预防‌

1‌、强制保养项‌

每运行2000小时更换轴承及机械密封，使用原厂LVO 100/210润滑油

清洗泵腔需用5%酸碱液，禁用颗粒研磨剂

2、运行禁止‌

连续压差＞100mbar会导致转子过热变形（需联锁压力传感器）

旁通阀开启时间≤3分钟，避免电机过载

3、升级选项‌

加装磁悬浮轴承：机械损耗降40%，免维护周期突破8000小时

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