TURBOVAC i磁悬浮分子泵结合了磁悬浮轴承（高真空侧）和陶瓷滚珠轴承（前级真空侧）技术，适用于高真空（HV）和超高真空（UHV）应用，如半导体、科研、镀膜、分析仪器等领域。

产品型号：
厂商性质：生产厂家
更新时间：2025-06-23
访问量：222

产品咨询联系我们

产品详情/ PRODUCT DETAIL

标题：TURBOVAC i磁悬浮分子泵

产品概述

TURBOVAC i磁悬浮分子泵TURBOVAC i 系列具有混合转子轴承：前级真空侧的轴承是终生润滑的陶瓷滚珠轴承，高真空侧的轴承为不磨损的磁浮轴承。

所有这些类型的轴承通常都无需任何润滑油（在泵静止的条件下，由于没有任何抽吸作用，润滑油可能会扩散回真空室）。

由于涡轮分子泵不能直接在大气压下压缩，因此它们始终需要一个额定值足够的前级真空泵来运行，而我们正好也提供这种泵。根据流量和终压要求，我们提供不同的前级真空泵来满足您的系统要求。

TURBOVAC i磁悬浮分子泵采用混合轴承系统：

高真空侧：磁悬浮轴承（无机械接触，无磨损，免维护）。

前级真空侧：陶瓷滚珠轴承（终生润滑，可现场更换）。

气体通过高速旋转的涡轮叶片（3000~60000 RPM）被压缩，实现高真空抽气。

分子泵设计理念

莱宝真空针对不同应用提供基于不同轴承和转子技术的涡轮分子泵。如TURBOVAC系列机械轴承标准分子泵；TURBOVAC MAG系列磁悬浮轴承分子泵；TURBOVAC i/iX系列半磁浮分子泵（半磁浮分子泵仅在排气端配置脂润滑轴承，高真空端配置免维护的永磁轴承）。莱宝真空的分子泵均不采用油润滑轴承可以从理论上完*避免分子泵对腔体产生碳氢化合物污染并且保证所有分子泵均可以任意角度安装。

留言询价/ MESSAGE INQUIRY