ITR90热阴极复合规是一种热阴极电离真空规（Hot Cathode Ionization Gauge, HIG），通常用于高真空（HV）和超高真空（UHV）测量。它结合了热阴极发射电子和离子电流检测技术，是科研、半导体和真空镀膜等领域的核心真空传感器之一。

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更新时间：2025-06-23
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产品详情/ PRODUCT DETAIL

标题：ITR90热阴极复合规

产品概述

工作原理

ITR90热阴极复合规基于热阴极电离规的原理工作。通过高温灯丝发射电子，这些高能量电子在电场作用下加速运动，与真空计测量空间内的气体分子发生碰撞。在碰撞过程中，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，使气体分子电离形成带正电的离子。这些带电离子在电场作用下被离子收集极捕捉收集，形成离子流。离子流的大小与气体压力成比例关系，通过测量离子流的大小就可以测算出气体的压力，从而得出真空度。

ITR90热阴极复合规结构特点

电极结构：一般由阴极（灯丝）、栅极和收集极组成。阴极通常采用耐高温、发射电子性能良好的材料制成，通电加热后发射电子。栅极处于正电位，用于加速从阴极发射出来的电子，使电子获得足够的能量去撞击气体分子。收集极处于负电位，用于收集被电离的气体离子。

规管设计：整体规管的设计能够保证在高真空环境下，电子、离子的运动和相互作用不受外界干扰，确保测量的准确性和稳定性。

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