MAG磁悬浮分子泵性能好，灵活，低振动和低维修涡轮分子泵和单独变频器，适合各类严苛应用。

标题：MAG磁悬浮分子泵

产品概述

MAG磁悬浮分子泵是由 Leybold（莱宝） 等公司研发的干式真空泵，采用磁悬浮轴承技术，适用于超高真空（UHV）和严苛工业环境。其核心特点是无油、免维护、低振动，广泛应用于半导体、科研、镀膜等领域。

MAG磁悬浮分子泵基于五轴主动磁悬浮轴承技术，使转子无机械接触悬浮，通过高速旋转的涡轮叶片（3000~60000 RPM）将气体分子从进气口压缩至排气口，实现超高真空抽气。

磁悬浮轴承：电磁场精确控制转子位置，消除摩擦磨损。

高速涡轮叶片：铝合金或镀层转子，优化气流效率。

无油设计：避免碳氢污染，适用于洁净真空系统。

MAGiNTEGRA磁悬浮分子泵可靠耐用，能够承受工艺中产生的颗粒和沉积物。它可以承受生产过程中引起的大气流冲击，可以在任意位置以任意角度安装。整体外形对称设计，与变频器合为一体，且变频器的安装位置灵活，节约了安装空间。由于使用了五轴定位磁悬浮轴承，TURBOVACMAGiNTEGRA几乎免维护，同时无碳氢化合物污染的风险，极其适合脂润滑机械轴承分子泵不适用的对碳氢化合物污染有严格要求的真空应用。MAGiNTEGRA的另一个显着优点是在运行时产生的振动极小，这对于某些应用是非常重要的。

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